表面與輪廓測量
原子力顯微(wei)鏡（AFM）
觸針式輪廓儀（Dektak XT 系列）
光學輪廓(kuo)儀（白光干(gan)涉(she)儀）
分子與材料分析
X射線衍射（XRD）、拉(la)曼光譜
生命科學儀器
質譜儀、核磁共(gong)振（NMR）
Dektak XT 是 Bruker 的 高精度觸針式表面輪廓儀，用于(yu)(yu)測量表面粗糙度(du)、臺(tai)階(jie)高度(du)、薄膜厚度(du)等，廣泛應(ying)用于(yu)(yu)半導體、光(guang)學(xue)、光(guang)伏和材料科學(xue)研究(jiu)。
| 型號 | 垂直分辨率 | 水平分辨率 | 最大掃描長度 | 觸針力范圍 | 典型應用 |
|---|---|---|---|---|---|
| Dektak XT-E | 0.1 ? | 0.5 μm | 55 mm | 1–15 mg | 半導體晶圓、MEMS 器件 |
| Dektak XT-S | 1 ? | 1 μm | 110 mm | 1–30 mg | 光學涂層、金屬表面粗糙度 |
| Dektak XT-U | 0.5 ? | 0.25 μm | 200 mm | 0.5–20 mg | 超光滑表面（如硬盤、藍寶石） |
| Dektak XT-L | 2 ? | 2 μm | 300 mm | 5–50 mg | 大型樣品（光伏面板、顯示屏） |
非破壞性測量：超低觸針力（最小 0.5 mg）避免樣品損傷。
高分辨率：垂直分辨率最高達 0.1 ?（XT-E），接近原子級精度。
自動化功能：可選 自動樣品臺、多區域掃描 和 3D 映射。
軟件支持：
Vision64：數據(ju)采集與(yu)分(fen)析軟件，支持 ISO/ASME 粗(cu)糙度標(biao)準。
MapSuit：3D 表面(mian)形貌重建。
環境控制模塊
真空吸附臺：減少振動(dong)干擾（適用(yong)于納米級(ji)測量）。
溫控樣品臺：-20°C 至 +150°C 溫度范圍(wei)內測試。
特殊觸針
鉆石針尖：用于硬質(zhi)材料（如陶(tao)瓷、金(jin)屬）。
聚合物針尖：避(bi)免(mian)軟材(cai)料（如(ru)聚合物(wu)、生物(wu)樣品）劃傷。
光學輔助系統
集成顯微鏡：精確(que)定位測(ce)量區域。
半導體制造：
晶圓(yuan)表(biao)面平整度、光刻膠厚度測量(liang)
光學工業：
透鏡/反(fan)射鏡的粗糙度(du)與臺階高度(du)分析(xi)
材料科學：
薄膜涂層、納米結構的形貌表征
質量控制：
汽車零部件、醫(yi)療器械(xie)的(de)表面缺陷(xian)檢(jian)測
Dektak XT 系列 是 Bruker 在 接觸式輪廓測量 領域的標桿產品，覆蓋從 亞埃級（0.1 ?） 到 宏觀尺寸（300 mm） 的測量需求。
通過 模塊化設計 滿足不同行業需求，尤其適合 高精度、小尺寸樣品 的表面分析。
（注：1 ? = 0.1 nm；觸針力單(dan)位：mg = 毫克。）
其他注意事項：
更(geng)詳細的技術資料(liao)需通過(guo)提供項目詳情獲取，歡迎(ying)咨詢。
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